1

可選版本

.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本

.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本

.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本

2

外形尺寸

90 × 24 × 14 mm

180 × 24 × 14 mm

250 × 36 × 16.5 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷

4

質(zhì)量（標(biāo)準(zhǔn)版）

174 g

388 g

840 g

5

運(yùn)動(dòng)行程

50 mm

100 mm

150 mm

6

安裝空間

140 × 24 × 14 mm

280 × 24 × 14 mm

400 × 36 × 16.5 mm

7

速度范圍

默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s

默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s

默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s

8

驅(qū)動(dòng)力

2 N

2 N

2 N

9

保持力

3 N

3 N

3 N

10

水平方向使用*大負(fù)載

1 kg

2 kg

3 kg

11

雙向重復(fù)定位精度

± 150 nm

± 150 nm

± 150 nm

12

全行程俯仰 / 偏擺

0.2 mrad

0.2 mrad

0.2 mrad

13

最小步伐（閉環(huán)）

5 nm

5 nm

5 nm

14

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

光學(xué)位置傳感器

光學(xué)位置傳感器

15

位置傳感器分辨率

2 nm

2 nm

2 nm

16

線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

17

控制器規(guī)格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

1

可選版本

.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本

無

2

外形尺寸

82 × 295 × 20 mm

82 × 295 × 20 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV 鋼，鋁合金：1 kg

鋼，鋁合金：1 kg

4

運(yùn)動(dòng)行程

200 mm

200 mm

5

速度范圍

默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s-

6

驅(qū)動(dòng)力

3 N

3 N

7

保持力

5 N

5 N

8

水平方向使用*大負(fù)載

2 kg

2 kg

9

雙向重復(fù)定位精度

± 100 nm

± 300 nm

10

全行程俯仰 / 偏擺

0.3 mrad

0.3 mrad

11

最小步伐（閉環(huán)）

5 nm

100 nm

12

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

光學(xué)位置傳感器

13

位置傳感器分辨率

2 nm

50 nm

14

線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)-

15

控制器規(guī)格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列